31p-B-1 低温イオン注入されたSiの損傷構造とその回復挙動

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1995-03-16

著者

• 佃 昇

  九大応力研

• 蔵元 英一

  九大応力研

• 蔵元 英一

  応用力学研究所

• 中園 英孝

  九大総理工

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