超LSIの世界と予想される限界
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概要
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生産技術の分野で日本がその強みを発揮していると言われる, LSIの世界とはどんな世界なのか. そして, その技術の発展の源泉である微細化・高集積化に限界はないのか. 物理の世界からは多少離れるが, 独断と偏見に基づく大雑把な紹介を試みてみよう. 始めにLSIの様子を垣間みて, 次いで集積化・微細化のトレンドを概観し, その行き着く先の限界を遥かに望み, 打開への模索や夢も記してみたい. それにしても, なぜ日本が…?
- 社団法人日本物理学会の論文
- 1991-05-05