蒸着膜成長過程における核形成
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概要
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薄膜成長のひとつの様式である核成長の場合について, 最近の核形成理論の進歩と実験の成果を紹介する. 理論面では準平衡の仮定なしに, いろいろな条件の下での核形成が論じられるようになった. 実験においては, 理論で仮定されるような理想条件を作り出すことは難しいが, 技術の進歩に伴って比較的信頼のおける報告が二, 三出て来ている. 今後の発展が期待される.
- 社団法人日本物理学会の論文
- 1973-02-05
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