プラズマ加工と塵芥プラズマ

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概要

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• 近年,産業界では様々な応用を目的に,プラズマが広く利用されている.ここでは,半導体加工に用いられるプラズマを例にとり,多数の個体微粒子(塵)を含むプラズマ(塵芥プラズマ)の物理現象について概説する.

• 社団法人日本物理学会の論文
• 1995-07-05

著者

• 浜口 智志

  Ibm Thomas J. Watson Research Center

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