6a-A-4 イオン注入によって作製したβ-FeSi_2のSi(100)基板中の深さ分布

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1997-09-16

著者

• 梅澤 憲司

  阪府大総合

• 前田 佳均

  阪府大・総合科学・物質科学

• 藤田 工

  阪府大・総合科学・物質科学

• 秋田 倫喜

  阪府大・総合科学・物質科学

• 梅澤 憲司

  阪府大・総合科学・物質科学

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