8a-S-11 分子動力学法によるSi中の酸素拡散、析出挙動の理論解析

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1997-09-16

著者

• 光武 邦寛

  東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 牛久 幸広

  東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

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