シリコン エピタキシャル層中のDislocation : 格子欠陥

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1964-03-31

著者

• 根岸 敏夫

  松下電子工業研究所

• 山尾 征喜

  松下電子工業研究所

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