HF-HNO_3系蒸気によるシリコン表面被膜(第1報) : 表面物理

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1964-03-31

著者

• 小野 員正

  通信研究所

• 八木 祥二

  通信研究所

• 伊藤 秀朗

  オリジン電気

• 越 守

  オリジン電気

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