Si気相生長における不純物の影響 : 応用半導体

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1964-03-31

著者

• 羽田 祐一

  日電 半導体

• 羽田 祐一

  日本電気(株)集積回路事業部

• 青木 三千郎

  日本電気

• 粕川 十四雄

  日本電気

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