3a-M-4 Siウェーハに蒸着されたAu膜上にみられるSiO_2膜の低温生成

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1972-04-03

著者

• Mayer J.w.

  カリフォルニア工科大学

• 平木 昭夫

  カリフォルニア工科大学:阪大工

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