3a-TB-6 水素プラズマケミカルスパッタリング法によるシリコン微粒子の成長

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 社団法人日本物理学会の論文
• 1990-09-12

著者

• 斗内 政吉

  九工大情報工

• 斗内 政吉

  九州工業大学・情報工学部

• 宮里 達郎

  九州工業大学・情報工学部

関連論文

• 13a-DE-9 GaAs/AlGaAs2次元系における電磁波のEdge Magnetoplasma吸収(2)
• 1a-N-15 GaAs/AlGaAs2次元系における電磁波のEdge Magnetroplasma吸収
• 3a-TB-7 水素プラズマケミカルスパッタリング法による II-VI属化合物半導体薄膜の結晶成長
• 3a-TB-6 水素プラズマケミカルスパッタリング法によるシリコン微粒子の成長
• 5a-C-2 微粒子シリコンの光学的評価

スポンサーリンク