1a-E-1 Arスパッターにより形成された薄膜中のArの分布

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1982-03-15

著者

• 藤森 啓安

  東北大金研

• 風間 典昭

  東北大金研

• 山口 貞衛

  東北大工

• 藤野 豊

  東北大工

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