7p-P-12 イオンチヤンネリングによる表面酸化膜厚の測定

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1976-09-16

著者

• 平林 真

  東北大金研

• 山口 貞衛

  東北大工

• 藤野 豊

  東北大工

• 吉成 修

  東北大金研

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