25a-ZG-7 Low Temperature in-situ Cleaning of Silicon wafers with an ultra high vacuum compatible plasma source

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1992-09-14

著者

• Beck E

  Balzers Limited

• RUMM JURGEN

  BALZERS LIMITED

• A Zuger

  BALZERS LIMITED

• Dommann A

  Principality of Liechtenstein, Neu-Technikum (Switzerland)

• Pixley E.R

  Physik-Institut der Universitat, Zurich

• Dommann A

  Principality Of Liechtenstein Neu-technikum (switzerland)

• Pixley E.r

  Physik-institut Der Universitat Zurich

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