26aYL-11 Defects induced by GeV-Xe/Fe Ions Implantation in Single Crystal Si

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1999-09-03

著者

• Diao X

  Riken:shizuoka Institute Of Science&technology

• Yoshida Y

  Shizuoka Institute of Science&Technology

• Shimura F

  Shizuoka Institute of Science&Technology

• Kanbara T

  RIKEN

• Iwasa A

  Japan Atomic Energy Research Institute

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