25pY-1 塩素によるSi(100)-2x1のエッチング : エッチング速度の表面濃度依存性

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1999-09-03

著者

• 中山 幸仁

  東京大学大学院理学系研究科化学専攻

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