24aYF-11 誘導結合型放電における放電特性の理論的解析

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 社団法人日本物理学会の論文
• 1999-09-03

著者

• 吉木 宏之

  鶴岡高専

関連論文

• 26aB22P プラズマ利用ナノ・バイオ融合研究 : DNA内包カーボンナノチューブ創製の試み(プラズマ基礎・応用)
• マイクロ波励起プラズマ源のマイクロ波電界分布の数値解析
• マイクロ磁化プラズマの生成とチューブ内壁処理への応用
• 24aYF-11 誘導結合型放電における放電特性の理論的解析

スポンサーリンク