6a-ZB-4 対向ターゲット式スパタリング法による酸化物超電導薄膜の作製

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1989-09-12

著者

• 高木 康夫

  新日本製鉄(株) 先端技術研究所

• 高木 康夫

  新日本製鉄株式会社 第1技術研究所

• 山田 英夫

  新日本製鉄株式会社, 第1技術研究所

• 山田 英夫

  新日本製鉄株式会社 第1技術研究所

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