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3a-G-10 真空紫外レーザー照射Si_3N_4表面の軟X線発光分析
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概要
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社団法人日本物理学会の論文
1994-08-16
著者
Kurmaev E.z
ロシア金属物理研
黒澤 宏
宮大工
佐々木 亘
宮大工
Shamin S.N
ロシア金属物理研
Dolgih V.E
ロシア金属物理研
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