工業用X線源としての小型電子蓄積リング(<特集>荷電ビームを応用する加工と計測)

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概要

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• 公益社団法人精密工学会の論文
• 2001-09-05

著者

• 広瀬 正起

  住友重機械工業(株)技術開発センター

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