窒化法と溶射法により製作した湿式光センサー用TiO_2電極の特性
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概要
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This papre describes the electrode characteristics of TiO_2 electrode nranufactured by the flame spraying. The thermal spraying flame of the high temperature hits the substrate at the flame spraying, and the oxidizing zone of the high resistivity rate forms on the suface. Therefore, the electrode characteristics decrease remarkably by the voltage drop. To prevent the oxidizing zone being formed, nitride processed the substrate by PVD method and the direct nitriding method. As a result, it was clarified that the electrode characteristics improve by the nitride processing.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2001-03-05
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