三次元座標測定機の経路制御技術と周辺技術動向(<特集>精密・超精密位置決めの現状と将来予想)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2001-02-05
著者
関連論文
- 目指せ!計測角度100万分の1度(静岡理工科大学 益田研究室)(精密工学の最前線)(ロバストなセンシング技術)
- 多慣性負荷に対する制振性と外乱抑圧性を同時実現する制御法の開発
- nmオーダ変位検出器の評価校正システムの開発
- 高精度三次元測定機の開発・設計手法
- 三次元測定機において発生する相対変位について(第1報) : 3慣性系としての制御系の構造
- 多軸制振制御のための送り機構のモデルの考察 : 振動発生メカニズムの考察
- 三次元座標測定機の経路制御技術と周辺技術動向(精密・超精密位置決めの現状と将来予想)
- ロバスト制御の技術動向と多軸制振制御技術
- 3点法による高次真円度測定