レーザー反射散乱光による超精密切削面の粗さ測定技術
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概要
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A laser light scattering technique was investigated for application to non-contact roughness measurement. Roughness parameters were evaluated from the distribution of scattered light intensity by using the principle of optical Fourier transformation. This technique coincided closely with the stylus method in the range of 0.004-0.02μmR_<rms> (0.02-0.1μmR_z). Air blowing eliminates the effects of residual cutting fluid on the surface to be measured. This technique can be easily applied to on-machine measurements due to low vibration disturbance, convenient measuring distance, and simple instrumentation.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1988-05-05
著者
-
松下 富春
(株)神戸製鋼所機械研究所
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松下 富春
神戸製鋼所
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松下 富春
(株)神戸製鋼所
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松下 富春
株式会社神戸製鋼所医療材料部
-
本西 英
(株)神戸製鋼所機械研究所
-
吉田 浩二
(株)神戸製鋼所
-
本西 英
神戸製鋼所
-
本西 英
(株)神戸製鋼所
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