高エネルギーイオンビーム照射による多層膜界面のモルフォロジー変化に関する一考察
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1997-07-05
著者
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垣野 義昭
京都大学大学院工学研究科
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アリ エクテサビ
京都大学大学院工学研究科
-
エクテサビ アリ
京都大学大学院工学研究科
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井尾 賢司
京都大学大学院
-
井尾 賢司
京都大学大学院:(現)住友電工(株)
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