不透明試料上のパタン検査法の研究

概要

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IC等の自動パタン検査装置としては, すでに幾つかの報告があるが, X線露光用メンブランマスク, およびウエハ等の不透明試料上の欠陥の検出を可能とするものはない.本研究では, 不透明試料上の欠陥を反射光を用いて検出する場合の理論解析・実験を行い, スポット径と解像度, ノイズによる検出の限界等を明らかにした.また, これらの検討をもとに装置を試作した.以下に主な結果を述べる.(1)試料面走査によるパタンの解像度は, 走査スポット径の約0.8倍である.(2)微弱光検出の際の解像度は, 入射光ノイズによって決められ, 計算値とよく一致する.(3)欠陥検出率の向上には, 2値化後の2走査線分の論理積をとる方法が有効である.(4)Al, Au等の高反射率の試料では, 1.5μm以上の欠陥が検出可能であるが, レジストパタン等の低反射率の試料では, SN比向上のため乱反射光検出の併用等が必要となる.また, 試作した装置で1.5μmの欠陥を2min/cm^2で検出可能である.
公益社団法人精密工学会の論文
1981-07-05