Si-SiO_2界面の遷移領域の熱処理効果

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概要

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著者

• 張 依群

  九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻

• 和田 修一

  Ddi株式会社

• 菊竹 陽

  富士通株式会社

• 和田 修一[他]

  DDI株式会社

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