希ガス陽光柱の電子エネルギ分布と電子温度
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
The electron energy distribution function (EEDF) in rare gas positive columns which lacks the distribution of electrons in the high energy tail can be adequately approximated by a bi-generalized Druyvesteyn distribution. Using the Langmuir probe curve simulated based on the approximated EEDF, the conventional probe technique for the electron temperature diagnostic is examined. The average electron energy obtained with the semi-log plot method may be necessarily underestimated compared with that of found from the Druyvesteyn technique. Published data for measured and in He and Ne positive columns are compiled, and it is shown that > holds over a wide range of the gas pressure-tube radius product.
- 山形大学の論文
- 2000-02-15
著者
関連論文
- 23pB-9 微少窒素混合ネオンガス放電陽光柱の特性 : 電離波動
- 24aYF-9 高周波放電の絶縁破壊特性VIII(ペニング効果)
- 28a-XM-3 希ガス-窒素混合ガスグロー放電におけるエネルギー損失特性 I
- 31p-YL-9 高周波放電の絶縁特性VII : 希ガスの場合
- 29a-YF-3 高周波放電の絶縁破壊特性II : 混合ガスの場合
- 28p-YT-7 希ガス小口径放電陽光柱の分光測定
- 23pB-6 希ガス陽光柱の電子エネルギ分布関数の近似
- 希ガス陽光柱の電子エネルギ分布と電子温度
- 27a-EC-7 表面磁場を施したマイクロ波キャビティを利用したプロセス用プラズマ源(放電)