電子ビーム蒸着法による酸化ガドリニウム薄膜の誘電特性

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概要

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• 東海大学の論文

著者

• 井田 光雄

  東海大学工学部応用物理学科

• 川路 昭

  東海大学工学部応用物理学科

• 向井 良一

  東海大学工学研究科

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