<学術講演 セッション2>MEMSの情報機器応用への期待 (<特集>マイクロマシン : 基盤技術の充実と応用の展開の現状 第13回生研学術講演会)

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概要

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• 東京大学の論文

著者

• 井野 英哉

  日本アイ・ビー・エム(株)藤沢事業所

関連論文

• MEMSの情報機器応用への期待 (マイクロマシン : 基盤技術の充実と応用の展開の現状 第13回生研学術講演会)

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