RFマグネトロンスパッタリング法により作製したBi_12GeO_20薄膜の結晶性の評価

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概要

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• The photorefractive single crystal bulk samples have been used for image recording. Films of Bi_<12>GeO_<20> which belongs to a bismuth sillenite compound were deposited by using RF magnetron sputtering. Thin films have merits in device integration and mass production. The process condition to obtain a good crystalline film was studied. The film with crystalline phase only was obtained at the substrate temperatures above 200℃.

• 東海大学の論文

著者

• 渋谷 猛久

  東海大学工学部応用理学科

• 渋谷 猛久

  東海大学工学部光・画像工学科

• 室谷 浩志

  東海大学工学研究科

• 一新 賢二

  東海大学工学研究科

• 一新 賢二[他]

  東海大学工学研究科

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