深紫外発光ダイオード用高品質AlNテンプレート

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概要

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• 2013-06-01

著者

• 大鹿 嘉和

  DOWAエレクトロニクス(株) 半導体材料研究所

• 宮下 雅仁

  DOWAエレクトロニクス(株) 半導体材料研究所

• 肥後 正昭

  DOWAエレクトロニクス(株) 半導体材料研究所

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