MEMSウエハレベル実装に最適なLTCC基板の開発と実用化

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概要

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• 2012-06-01

著者

• 林 里紗

  ニッコー (株)技術統括部・研究開発部

• 岡田 厚志

  ニッコー (株)技術統括部・研究開発部

• 毛利 護

  ニッコー (株)技術統括部・研究開発部

• 木谷 直樹

  ニッコー (株)技術統括部・研究開発部

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