Nanoporous Gold for MEMS Packing Applications

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概要

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• 2013-02-01

著者

• Chen Lu

  WPI-AIMR, Tohoku University

• Lin Yu-Ching

  WPI-AIMR, Tohoku University

• Esashi Masayoshi

  WPI-AIMR, Tohoku University

• Wang Wei-Shan

  Micro System Integration Center, Tohoku University

• Chen Ming

  WPI-AIMR, Tohoku University

• Gessner Thomas

  Fraunhofer ENAS and Chemnitz University of Technology

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