EBSDによる超微細Cu配線深さ方向の微細構造解析
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2013-04-05
著者
-
大貫 仁
Department Of Petrology Tohoku University
-
稲見 隆
Department of Materials Science and Engineering, Ibaraki University
-
玉橋 邦裕
Department of Materials Science and Engineering, Ibaraki University
-
柯 一青
Graduate School of Science and Engineering, Ibaraki University
-
滑川 孝
Department of Materials Science and Engineering, Ibaraki University
関連論文
- 岩手県一戸のケンタレン岩について
- 栃木県川治ダム予定地のワイラカイト相変質
- 九州地方変成岩類のK-Ar dating(I)
- 多結晶銅薄膜の粒成長に及ぼす不純物の影響
- EBSDによる超微細Cu配線深さ方向の微細構造解析