40-60V車載向け多段イオン注入法によるNチャネルスーパージャンクションUMOSFETの開発

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概要

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• 2010-11-29

著者

• 村川 浩一

  ルネサスエレクトロニクス(株)

• 三浦 喜直

  ルネサスエレクトロニクス(株)

• 川島 義也

  ルネサスエレクトロニクス(株)

• 猪股 久雄

  ルネサスエレクトロニクス (株)

• 村川 浩一

  ルネサスエレクトロニクス (株)

• 三浦 喜直

  ルネサスエレクトロニクス (株)

• 川島 義也

  ルネサスエレクトロニクス (株)

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