超低消費電力LSI向けのSiN電荷捕獲層を有する新型V_<TH>自己調整MISFET

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概要

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• 2012-01-20

著者

• 川中 繁

  東芝 研究開発センター デバイスプロセス開発センター 高性能CMOSデバイス技術開発部

• 辰村 光介

  東芝 研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー

• 川澄 篤

  東芝 セミコンダクター&ストレージ社 半導体研究開発センター 先端ワイヤレス・アナログ技術開発部

• 川澄 篤

  東芝 セミコンダクター&ストレージ社 半導体研究開発センター 先端ワイヤレス・アナログ技術開発部

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