凹面基板上の三次元マイクロパターニングおよび, 円柱形ポリマースタンプ製作への応用
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概要
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- 2012-09-01
著者
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高間 信行
東京大学, 生産技術研究所 マイクロナノメカトロニクス国際研究センター
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朴 鍾〓
東京大学, 生産技術研究所 マイクロナノメカトロニクス国際研究センター
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藤田 博之
東京大学, 生産技術研究所 マイクロナノメカトロニクス国際研究センター
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金 範〓
東京大学, 生産技術研究所 マイクロナノメカトロニクス国際研究センター