スパッタ法による強誘電体薄膜作製と機能デバイスへの応用

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概要

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• 2012-09-10

著者

• 藤井 映志

  パナソニック株式会社 先端技術研究所

• 足立 秀明

  パナソニック株式会社 先端技術研究所

• 藤井 映志

  パナソニック(株) 先端技術研究所 ナノプロセス技術グループ

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