rfスパッタ法によるGaAs(100)基板上CoSb_3薄膜の熱電気的特性
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概要
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- 1998-01-31
著者
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Anno Hiroaki
Science University Of Tokyo In Yamaguchi
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Kaneko H
Tsukuba Materials Information Laboratory
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Kaneko Hiroko
Science University Of Tokyo In Yamaguchi
-
Matsubara K
Department Of Electronics And Computer Science Science University Of Tokyo In Yamaguchi
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Matsubara Kakuei
Science University Of Tokyo In Yamaguchi
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Sakakibara Tsutomu
Aisin Cosmos R&d Co. Ltd.
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NOTOHARA Yasuhiro
Kyushu Matsushita Electric Co., Ltd.
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TASHIRO Hirofumi
Toyo Kohan Co., Ltd.
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KOYANAGI Tsuyosi
Yamaguchi University
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Tashiro H
Toyo Kohan Co. Ltd.
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Notohara Yasuhiro
Kyushu Matsushita Electric Co. Ltd.
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MATSUBARA Kakuei
Department of Electronics and Computer Science, Science University of Tokyo in Yamaguchi
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