ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)ターゲット材を用いて作製したスパッタ薄膜のキャラクタリゼーション
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2012-04-20
著者
-
柳田 和也
金沢大学工学部人間・機械工学科
-
内田 大宇
金沢大学大学院自然科学研究科人間・機械科学専攻
-
山田 良穂
金沢大学大学院自然科学研究科人間・機械科学専攻
-
中島 翔平
金沢大学大学院自然科学研究科人間・機械科学専攻