レーザープロセスを用いた酸化物薄膜の作製とグリーンデバイスへの応用

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概要

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• 2012-04-20

著者

• 土屋 哲男

  独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 フレキシブル化学コーティンググループ

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