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Visualization of Electrons Localized in Metal-Oxide-Nitride-Oxide-Semiconductor Flash Memory Thin Gate Films by Detecting High-Order Nonlinear Permittivity Using Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy
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概要
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2012-03-25
著者
Honda Koichiro
RIEC, Tohoku University
Cho Yasuo
RIEC, Tohoku University
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