プラズマCVD法により作製した窒素添加DLCの構造とトライボロジー特性
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概要
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- 2012-01-01
著者
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川名 淳雄
日本コーティングセンター(株)
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川名 淳雄
日本コーティングセンター
-
増田 千利
早稲田大学
-
山本 修二
三恵技研工業(株)
-
日高 徳昭
早稲田大学 大学院基幹理工学研究科
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増田 千利
早稲田大学 大学院基幹理工学研究科
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