放射光光電子分光によるMOSFETゲートスタック構造の界面電子状態解析

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 2012-03-31

著者

• 豊田 智史

  東京大学

• 豊田 智史

  東京大学放射光連携研究機構

関連論文

• 放射光光電子分光によるゲート絶縁膜/シリコンの電子状態解析
• 放射光光電子分光によるMOSFETゲートスタック構造の界面電子状態解析

スポンサーリンク