高速型2.5μm PTOx-TMOSの開発とONOゲート絶縁膜の高電界特性

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概要

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• 2011-10-27

著者

• 荒川 隆史

  デンソー

• 青木 孝明

  デンソー

• 青木 孝明

  株式会社デンソー

• 竹谷 英一

  株式会社デンソー

• 荒川 隆史

  株式会社デンソー

• 荻野 誠裕

  株式会社デンソー

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