穴間移動動作から軌跡追従動作へ連続的に遷移するガルバノミラー式位置決めサーボ機構の目標軌道設計手法

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概要

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• 2011-09-05

著者

• 佐野 哲也

  日立ビアメカニクス

• 松家 大介

  日立製作所

• 大槻 治明

  日立製作所

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