Mnターゲットの反応性スパッタリングにより製膜したMnO_x膜の静電容量
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概要
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- 2011-06-05
著者
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Lin Chuen-chang
Department Of Chemical & Materials Engineering National Yunlin University Of Science And Technol
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Lin Peng-yu
Department Of Chemical & Materials Engineering National Yunlin University Of Science And Technol
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Lin Chuen-chang
Department Of Chemical & Materials Engineering National Yunlin University Of Science And Technol
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