スパッタイオンプレーティング法によるCuシード膜の作製

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 2011-02-05

著者

• 丸中 正雄

  新明和工業(株)技術統括本部

関連論文

• 磁気輸送シールド型真空アーク蒸着法によるCu配線膜形成の基礎実験
• スパッタイオンプレーティング法によるCuシード膜の作製

スポンサーリンク