サブマイクロ秒Yb:YAGディスクレーザーを用いた各種材料除去加工に対するパルス幅の影響

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概要

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• 2010-10-20

著者

• 部谷 学

  光産業創成大学院大学

• 刀原 寛孝

  株式会社ナノプロセス

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