SiOC膜エッチングにおけるエッチング速度低下メカニズムの解析及びビア開口不良の改善

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概要

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• 2008-07-10

著者

• 田中 潤一

  日立製作所中央研究所ナノプロセス研究部

• 田中 潤一

  日立製作所中央研究所

• 米倉 和賢

  ルネサステクノロジ

• 桃井 義典

  日立製作所中央研究所

• 木原 嘉英

  日立製作所中央研究所

• 早水 太一

  ルネサステクノロジ

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